退火炉烧嘴

本实用新型公开了一种退火炉烧嘴,涉及用于管子的热处理设备技术领域.本实用新型包括烧嘴头,助燃风管,煤气管和侧壁设有风孔的固定助燃风套,助燃风管密封固定于烧嘴头的侧壁,固定助燃风套固定于烧嘴头的空气室内底部,煤气管的下端穿过烧嘴头上的第一固定法兰伸入到固定助燃风套内,在煤气管的中上部还密封固定有弯管,该弯管通过连接法兰与连接管固定,连接管通过煤气阀与高炉煤气管连通,在煤气管下端的出口处设有火焰挡板,在火焰挡板的上方设有螺旋式叶片,火焰挡板和螺旋式叶片均与穿过煤气管内部的连接杆固定连接.本实用新型结构简单,安拆容易,清理方便,使用安全可靠,火焰大小可调,燃烧柔和,均匀稳定,退火炉是在半导体器件制造中使用的一种工艺,其包括加热多个半导体晶片以影响其电性能.热处理是针对不同的效果而设计的.可以加热晶片以激活掺杂剂,将薄膜转换成薄膜或将薄膜转换成晶片衬底界面,使致密沉积的薄膜,改变生长的薄膜的状态,修复注入的损伤,移动掺杂剂或将掺杂剂从一个薄膜转移到另一个薄膜或从薄膜进入晶圆衬底.退火炉可以集成到-炉子处理步骤中,例如氧化,或者可以自己处理.退火炉是由专门为加热半导体晶片而设计的设备完成的.退火炉是节能型周期式作业炉,超节能结构,采用纤维结构.